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為你解答疑惑十萬級半導(dǎo)體無塵室工程的標(biāo)準(zhǔn)

2022-07-09
共有7384家企業(yè)看過

  無塵室被越來越多的行業(yè)所使用,在建設(shè)中十萬級無塵室被運(yùn)用的比較廣泛,它適用于一般的凈化廠房,半導(dǎo)體的生產(chǎn)就離不開無塵廠房,那么十萬級半導(dǎo)體無塵室工程的標(biāo)準(zhǔn)有哪些呢?今天就隨合潔電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  一、十萬級半導(dǎo)體無塵室標(biāo)準(zhǔn)之溫度、濕度,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季凈化車間濕度控制在30-50%,夏季凈化車間濕度控制在50-70%。

半導(dǎo)體無塵室廠房的圖片

  1、配電:主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

  二、噪聲的控制:

  1、動(dòng)態(tài)測試時(shí),標(biāo)準(zhǔn)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。

  2、靜態(tài)測試時(shí),標(biāo)準(zhǔn)的噪聲級不宜大于60分貝A。

  三、氣流組織:

  1、十萬級半導(dǎo)體無塵室標(biāo)準(zhǔn)之主要采用的送風(fēng)方式:

  (1)局部孔板頂棚送風(fēng) ;

  (2)帶擴(kuò)散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng);

  (3)上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。

  2、十萬級半導(dǎo)體無塵室標(biāo)準(zhǔn)之主要采用的回風(fēng)方式:

  (1)單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口;(2)當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí),在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部集中設(shè)置回風(fēng)。

  以上就是本篇文章全部講解,想必您讀到這里,一定對為你解答疑惑十萬級半導(dǎo)體無塵室工程的標(biāo)準(zhǔn)有了一定的認(rèn)識(shí),希望對您有所幫助。

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